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              產品資訊

              電子級高純氣體管路

              微電子、光電子和生物制藥等行業對傳輸敏感或腐蝕性介質的高純、潔凈管道系統一般都采用光亮退火(BA)、酸洗或鈍化(AP)、電解拋光(EP)及真空二次溶解(VIM+VAR)產品電子級高純氣體管路。

              A.電解拋光(Electro-Polished)簡稱EP。通過電化學拋光,可以提高表面形態及結構,使表層實際面積得到很大程度的減少。表面是一層封閉的、厚厚的氧化鉻膜,能量接近合金的正常水平,同時介質數量也會降低--通常適用于電子級高純氣體。

              電解拋光是利用陽極處理的方式借由電化學的原理適當地調整電壓、電流、酸液組成、以及拋光時間。不但可使表面達到明亮、順滑、潔凈的效果更可提升表面的抗蝕性,故是最佳的亮化表面方法當然其成本與技術也提高。不過因為電解拋光會凸顯鋼管表面的原始狀態所以若鋼管表面有嚴重刮傷、孔洞。

              B.光亮退火(Bright Annealing)簡稱BA。在加氫或真空狀態高溫熱處理,一方面內部應力,另一方面在管道表面形成一層鈍化膜,以改變形態結構,減少能量水平,但不會提高表面粗糙度--通常適用于GN2,CDA,以及非工藝的惰性氣體。

              鋼管在抽制的過程中一定會需油脂潤滑而晶粒也會因加工而變形。為了避免這個油脂殘留在鋼管中,除了要清洗鋼管外,尚可利用高溫在高溫退火以消除變形時,以氬氣充當爐內氣氛,借由氬與鋼管表面的碳氧結合燃燒進一步清潔鋼管的表面,產生亮面的效果。故這種利用純氬氣退火加熱并快速冷卻以亮化光面的方式叫光輝退火。雖然利用此種方式來亮化表面可保鋼管充分干凈無任何外來污染。但這種表面的明亮度若與其他拋光方式相較機械、化學、電解會有較霧面的感覺。當然其效果也與氬氣的含量與加熱的次數有關。

              C.酸洗或鈍化(Pickled & Passivated/Chemically Polished)簡稱AP和CP。管道經過酸洗或鈍化,不會提高表面粗糙度,但可去除表面殘存的顆粒,降低能量水平,但不會減少介層數量--通常使用于工業級管道。

              AP即酸洗處理, 利用硝酸與亞氟酸等酸性溶液來除去鋼管的氧化層。便宜快速但容易造成晶界腐蝕且內外表面較粗糙易有懸浮雜質附著。

              D.真空二次溶解潔凈管Vim(Vacuum Induction Melting)+Var(Vacuum ArcRemelting)簡稱V+V

              為住友金屬公司產品,經過真空狀態下電弧條件下再次處理,提高了耐腐蝕性及表面粗糙度--通常適用在腐蝕性較強之高純電子級氣體上,如:BCL3,WF6,CL2,HBr等。

              E、即機械拋光 Mechanical polishing 簡稱MP

              常用于鋼管表面的氧化層、孔洞與刮痕其亮度與效果則取決于加工方式的種類。另外機械拋光后,雖較美觀但也會降低抗蝕性所以當用在腐蝕環境下需再經過鈍化處理,而且鋼管表面常有拋光材料殘留。

              F、機械拉拔(Plug draw)簡稱PD

              以塞栓精密冷拔來提高表面粗糙度,可以提高表面結構,但不會改善形態結構、能量水平和介層數量。作為最基本的表面處理工藝,機械拉拔的粗糙度為其他表面處理工藝奠定了基礎。

              G、羽布拋光(Buffed Polished) 簡稱BP

              裝飾不銹鋼業常用的用來提高表面光亮度的方式,盡管Ra值可能很好,但在電子顯微鏡下可觀察到許多裂縫,實際表面積擴大,局部有分離出來的鐵素體及馬氏體結構。表面夾雜許多雜質,如研磨顆粒。由于使用拋光膏,許多能量被儲存在原先得到凹陷中,使得介質數量也會增加。這種管道一般不允許使用在微電子、光電子及生物制藥的敏感、腐蝕介質中。

              H、亞電化學拋光(Anodical Cleaning) 簡稱AC

              歐洲工廠在BA基礎上再進行一道表面處理工藝,即輕度電解拋光工藝,以盡可能地減少表層面積,加厚鈍化膜,從而增加耐腐蝕性能、改善表面的形態結構、減少能量水平。經過這種表面處理方式之后的產品雖然沒有前面的光亮,但表面質量有了很大的提高,不會產生顆粒,減少表層鐵和氧化鐵的成分。

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